明年初就能用上氟化氢 三星材料危机或暂时解除

汇通网2019年8月30日消息 因为日本的贸易制裁,致使三星在三种关键性材料——光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢上受到限制,而现在,随着8月8日对EUV光刻胶材料的解封,第二种关键性材料氟化氢也将从黑名单中被移除出来。

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据韩国媒体朝鲜日报、中央日报日文版 30 日报导,韩国产业通商资源部指出,日本已于29日批准向三星出口氟化氢。

据悉,氟化氢是蚀刻和清洗晶圆的关键材料,高纯度的电子级氟化氢在半导体制造工艺中,主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程。

7月1日,日本政府宣布将韩国移除对外贸易白名单,并加强氟化氢、光阻剂和氟化聚酰亚胺三种关键性材料对韩国的出口管制。按照要求,韩国进口日本公司的氟化氢、光阻剂和氟化聚酰亚胺三种原材料,需要提前90天申请。

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而之后,日本政府虽然在8月7日、19 日相继发出了2张出口许可,但都面向的是光阻剂,而不是用于芯片生产的关键性材料氟化氢。现在,日本终于就韩国对氟化氢发布出口许可,这也就意味着,明年年初三星就能够用到这种材料了。

这是日本政府自7月4日加强对氟化氢等 3 项半导体材料的出口管制以来,首度允许氟化氢产品出口韩国。据悉,此次获得许可的对象为 Stella Chemifa 制造,出口给三星电子的氟化氢。

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